基本要素に焦点を絞る

フランス・モンペリエに本社を置く Kloé は、マイクロファブリケーション専用のさまざまな装置の開発製造を行っています。ポートフォリオの中でも注目すべきは、マスクレスダイレクトレーザーリソグラフィシステムと UV LED マスキング、マスクアライナーシステムです

後者は特にマイクロチップの製造に使用されていますが、マイクロ光学機器およびバイオテクノロジー (Lab on Chip) にも使用され、シリコン、ガラス基板、ウェーハ上のパターンにフォトマスクを位置合わせして、その下の表面に露光します。

アライメントを正確かつ容易にするため、Kloé は産業用カメラを活用し、2 台の IDS シングルボードカメラをそれぞれ、最新の UV-KUB 3 マスクアライナーに使用しました。USB 2 uEye LE シリーズの 2 つのカメラモデルはわずか 36 x 36 mm です。今後発売されるレンズホルダーなしのバージョンは高さ 5 mm です。Kloé はカメラを特殊光学システムに直接取り付け、このソリューションは省スペース性に非常に優れたものになりました。カメラは両方とも USB 2.0 で Linux-Embedded コンピューターに接続されています。拡大された位置合わせマーク付きで撮影された画像が、デバイスの統合画面に直接表示されます。ジョイパッドを使用して、オペレーターはフォトマスクを正確に位置合わせできます。

「代わりに双眼顕微鏡を使用するというやり方もあったのですが、シングルボードサイズの産業用カメラのほうが場所を取りません」と、Kloé のレンジマネージャーを務める Benjamin Rolland 氏は UV-KUB シリーズの利点の 1 つをこのように説明しています。「弊社のシステムはデスクトップ システムとして設計されています。横方向の長さはたった 47.5 cm なので、直径 100 mm のウェーハ領域に 5 インチのフォトマスクを露光できます。大型画面で使用すると、一層使いやすくなります。このようなシンプルな画像処理方法 (コントラスト強調、HDR) を考慮して、誤差 2 ミクロン未満という高い精度のアライメントを達成できました」

同様に、センサーについてもさまざまなバージョンがあり、0.4 から 18 メガピクセルの解像度に対応します。レンズホルダーなしのシングルボードカメラ、S マウントまたは CS/C マウント付きのシングルボードカメラ、さらにハウジングバージョンが用意されています。OEM のお客様は、ニーズに最適で、必要な機能が搭載されているカメラを簡単に見つけられます。過不足なく、ぴったりのカメラを選べます。

Kloé では装置ごとに 2 つのモデルの UI-1242LE を取り付けました。レンズホルダーなしの USB 2.0 ボードカメラには、光感度が非常に高い ev 製 1.3 メガピクセル CMOS センサー (1280 x 1024 px) が搭載されています。同社は、モノクロバージョンのセンサーを使用しています。CCD 品質の卓越した光感度に加えて、カメラは多数の便利な機能を備えています。センサーに搭載されたグローバルシャッターとローリングシャッターの 2 つのオプションは切り替え可能で、変化する要件や条件に柔軟に対応します。対象範囲 (AOI) は最大で 4 つまで使用できます。

5V 給電、トリガーとフラッシュ、周辺デバイスを制御する 2 つの GPIO と I2C バスを備えた Hirose 製 8 ピンコネクターにより、ほぼあらゆる接続用途に柔軟に使用できます。

API は IDS Software Suite の一部であり、Windows 7、8、10、および Linux および Linux Embedded に対応しています。SDK は IDS のカメラの供給品に含まれており、USB 3.0、USB 2.0、または GigE インターフェースのどのモデルでについても同一です。そのため、モデルやインターフェースに関係なく、カメラを統合できます。

エンジニアは USB 2.0 カメラをより強力な USB 3.0 または Gigabit Ethernet インターフェース搭載モデルに、簡単に変換できます。アプリケーションの再開発は不要で、カメラ固有のパラメーターを調整するだけで済みます。IDS Software Suite にはカメラ統合と画像撮影のプログラミングデモも付属し、C、C++、VB の対応するソースコード付きです。開発者は各自のプログラムで使用するパラメーターをすばやく抜き出せます。HALCON、MERLIC、NeuroCheck、LabVIEW などのその他のマシンビジョンソフトウェアやダイレクトインターフェースも用意されています。